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《科技入侵现代》

第452章 鹊桥


实时动态补偿?

梁孟松当然知道这个解决方案。

类似的方案在半导体领域就有应用。

“我们已经安装了大量的传感器,但它们只是在记录温度和振动。

我要你重新编写算法,让它们成为预测和修正的神经系统。

将光刻机的关键参数与环境传感器数据直接挂钩。

基于过去数千小时的良率数据,建立一个预测模型,在环境变化尚未对光刻胶产生影响之前,模型就提前预测出焦点将要发生的漂移量。

最后利用CG-1内部自带的高速微致动器,在微秒级别内,动态微调透镜组的位置,以抵消环境变化带来的光学失真。

这就像一个外科医生在抖动的手术台上,依靠神经反射保持手部稳定。

这样一来,光刻机就不再追求静止的完美,而是追求动态中的完美。

环境越不稳定,我们的补偿系统就越有价值。”

林燃停顿片刻后说道:

“这套动态系统一旦成熟,不仅能够激活4nm的潜力,解决你现在所面临的问题,而且能够把我们7nm产线的良率再往上推一大截,和台积电7nm制程的良率达到一致。”

梁孟松听完,他立刻明白了林燃的意图:不是去战胜自然法则,而是去适应它,并利用数据和算法来驾驭它。

“动态补偿……”梁孟松喃喃自语,眼中精光闪烁,“用软件和算法去弥补硬件上的不足。用我们最擅长的信息技术去解决他们引以为傲的精密光学问题。”

他脸上兴奋的表情只出现了很短暂的时间。

很快表情就转变成工匠的严谨和质疑。

浸淫半导体行业数十年,梁孟松当然知道“实时动态补偿”的概念,但他更清楚,将这项技术应用于CG-1这类光刻机上的难度,简直是几何级数的提升。

“林总,动态补偿从理论上而言当然可行,但我们都很清楚,您也亲自参与过我们生产线的构建,您很清楚理论上可行和实际工程上落地之间的差距。

很多时候他们之间很可能横亘着马里亚纳海沟。”梁孟松的语气变得急切,他必须让林燃明白其中的巨大工程鸿沟。

“在实际的工业中,动态补偿在半导体领域也有应用,但那些场景的时间常数和运动幅度,与光刻机核心曝光的场景完全不同。”

“最常见的应用之一是CMP,也就是我们俗称的化学机械平坦化。

在CMP设备中,我们使用实时监测来调整研磨力的压力分布,以补偿晶圆在研磨过程中厚度的不均匀性。

这个过程是低速的,调整频率可能在秒级甚至分钟级。

设备有足够的时间去采集数据、计算修正量,然后执行。

另一个我能立刻想到的应用场景是等离子刻蚀。

我们会在刻蚀腔内用光谱仪实时监测等离子体的状态,然后微调气体流量或射频功率,以补偿刻蚀速率的漂移。

这个反馈频率可能达到毫秒级,但它修正的是化学环境,不是直接修正光学焦距。”

梁孟松用手指指了指仿佛存在办公室空气中的CG-1光刻机:“但现在我们面对的是什么?是CG-1的超构透镜。

这套系统对温度和振动的敏感度极高,一个微小的气流变化,都会在微秒级的时间内导致几纳米到几十纳米的焦点漂移。

我们的动态补偿系统,必须在微秒级内完成:数据采集到预测模型计算再到微致动器物理移动的全过程。

这要求致动器本身具有超低延迟、超高精度的响应能力。

传统半导体设备上的致动器,根本达不到这个速度和精度要求。

这其中不仅仅需要算法上的革新,同样需要设备层面的革新。”

梁孟松语速很快,话题跳跃的同样很快,聪明人之间的交流就是要更轻松。

梁孟松最后的话语带着强烈的工程警告意味:“CG-1的超构透镜的物理特性,意味着它的补偿路径,比传统光刻机更复杂、更非线性。

这套系统是人类在DUV上的极限尝试,它的不稳定性是内生性的,而不是简单的外在干扰。

我们等于是要制造一个能预知自己‘失衡’,并在失衡发生前就完成‘平衡’的超级复杂系统!”

他看向林燃,总结道:“林总,从难度上来说,这件事的难度甚至要比我们过去从零开始EDA软件还要难得多。

这个鸿沟,远远不是CMP或刻蚀那种级别的动态修正可以相比的。”

林燃点了点头:“当然,我当然知道,你知道的,我同样知道。

想要独立于整个西方世界做出一整套的半导体生产制造体系,这本身就是在做一件不可能完成的事情。

这当然很难,可问题是,这是我们现在能迅速达到5nm最可能的路径。

从五十年代到现在,我们一路都是这样走过来的。”

林燃的话充斥着巨大的自信,难又怎么了?干就完事了。

他最后总结道:“算法上的问题交给我解决,无论多难的模型,我一定会给你找到那个合适的解,工程上的问题交给你,你需要做的就是整合国内现有的资源,国外能买到的资源,从工程上去实现它。”

梁孟松站起身,伸出手,在握手的时候,他只说了一个字:“好。”

这位所谓台积电的叛将,将给台积电带来真正意义上的致命一击。

2026年的第一天,阿波罗科技的直播间,和往常不同,今天这里是林燃亲自开直播。

林燃坐在自己的办公室,身后就是一面白墙,什么书都没放。

办公桌上倒是略显凌乱,各种文件摆在一起。

林燃坐在镜头前,身穿一件灰色羊绒毛衣,能看出来质感很好。

“今天是新年第一天,也就是元旦,老规矩,我只负责闲聊和解答,真正的发射由我们的宇航员和地面控制中心完成。

我现在已经飞文昌越来越少了。

大家应该都从我们的官方公告也好,又或者是新闻媒体的报道也好,大家应该知道我们的月球电磁轨道。

或者说,大家更喜欢的那个名字,月球钢铁之龙,建设进度又往前推进了一大截。

它现在能给飞行物提供更高的初始速度,包括中间的连接节点我们也更换了新的电磁材料,它会有更好的导电性。

所以今天,我们要干一件大事,在今年的月地窗口,进行一次飞船发射。

上次发射只是发射一个飞行器,无人的飞行器,重量很轻,和月球探测车差不多,就几十公斤而已。

我们只是做了一个技术上的可行性验证,确保这条路径可行,提供的推力足够,然后月球表面散热效果及格。

这次不一样,这次是一艘最新设计的飞船,它采用了非常激进的设计,大家看我们官方微博放出来的设计图都能看出来。

它的形状有点类似圆锥,底座宽大而坚实,如同一个倒扣的浅盘,完美地贴合了电磁轨道的结构。

它的外形是纯粹的功能主义。

因为大家都知道,月球上是没有空气的,也就意味着没有空气阻力,所以不需要考虑流线形。

我知道大家很喜欢流线型,觉得这样才酷,实际上宇宙中航行,这样的设计只有美学上的意义,还是人类所能感受的美学,外星人未必就能感受到。

它有宽大的底盘,有圆弧形的前端,我有看给我的评论,大家调侃这个形状放平,会很像UFO。

实际上这是为了在轨道上实现最佳的磁耦合和加速度应力分散,而圆弧形的前端则为未来返回地球时提供最佳的钝头体气动外形。”

林燃的直播间迅速涌入了上千万观众,他们来自不同的平台,弹幕拥挤地林燃没有回答网友们的提问,只顾着自说自话。

同时很多主播进行转播,他们会配上一些更酷炫的动画,类似什么月球南极沙克尔顿陨石坑的3D动画,上面用ai处理过的电磁轨道更具科幻感。

类似的直播间有很多,还有一些做出复古科幻效果的直播间,做一个转播。

但这些二路加起来都没有林燃的直播间人多。

哪怕网友们听不懂什么是磁耦合,什么是应力分散,什么是气动力外形,在专业

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